设置有用于防止污染的通道阀门的热交换机表面处理装置

摘要

本发明涉及一种设置有用于防止污染的通道阀门的热交换机表面处理装置方面的发明。包括有搬运器、输送部、表面处理部、转换部和电压施加部。搬运器用于安装组装成的热交换机；输送部用于依次输送搬运器；表面处理部用于连续在通过搬运器输送的多个热交换机整个表面上形成表面处理膜；转换部设置在表面处理部的两侧，用于向表面处理部装载/卸载安装有热交换机的搬运器；搬运器经过表面处理部时，电压施加部用于向安装在搬运器上的热交换机施加电压。表面处理部依次设置有净化间、聚合间、投递间、卸料间。各个通道通过通道阀门进行开闭，上述通道阀门以聚合间为中心设置在各个通道的外侧。当在聚合间进行蒸镀时，不仅能够防止蒸镀物质流入到周边的通道对周边的通道进行污染，并且能够防止通道阀门的O型环被烧坏产生污染。