利用非线性光学现象的激光扫描晶片检查

摘要

提供一种利用线性和非线性光学现象以检测缺陷的光学检查设备和方法。实施例包括：利用光束，例如，入射波长的扫描激光，辐照物品的部分表面，例如，半导体器件。利用衍射光栅，棱镜或滤光片，使辐照表面部分射出的光被分割成入射波长的光和一个或多个预定的非入射波长的光。入射波长和非入射波长的光发送到分开的检测器，例如，光电倍增管(PMT)，这些检测器分别把检测的线性光学现象(例如，代表表面形态)转换成电信号和把检测的非线性光学现象，例如，荧光，喇曼散射和/或倍频效应，转换成代表化学成分和材料界面的电信号。来自每个检测器的信号发送到处理器，该处理器基于从线性和非线性光学现象收集的信息产生缺陷图。