将弹性带设置到在研磨或抛光晶片时所使用的夹盘上的工具

摘要

一种用于将胶带(34)设置在夹盘(12)的表面(6)上的工具，包括一可移动的真空腔(24)，该真空腔(24)与所述夹盘密封接合，并利用定位销(32)实现相对于夹盘的定位。所述真空腔包括冲头(28)，将胶带设置在该冲头上，利用定位销对胶带进行定位。所述冲头与真空腔一起向夹盘移动，直到所述胶带与夹盘表面接触为止。然后将所述冲头从夹盘表面撤回，解除真空。胶带上的孔与夹盘表面上的开口对齐，利用真空腔，空气不会滞留在胶带和夹盘表面之间。