一种平面镜摆动姿态的检测装置及其方法

摘要

一种平面镜摆动姿态的检测装置及其方法，采用交流调制的方法驱动半导体激光器，使发出的激光依次经过整形准直透镜、偏振分光棱镜、1/4波片，入射到平面镜上；反射光经聚光透镜后成像到四象限硅光电探测器上；探测器的输出信号经前置放大电路、和差计算电路，输出反应平面镜在二维方位上摆动幅度的交变电压信号；采用锁相检测电路将二维方位上的交变电压信号处理成两个方向的直流电压信号；经A/D转换送固化有软件处理程序的单片机，利用两个直流电压信号和二维角度之间的计算关系式计算得到平面镜的二维摆动角度的大小。该方法测量原理简单，装置小巧、简单，测量范围为：±30′，测量精度优于0.5″。