耐高温石油井下动态压力传感器

摘要

本发明公开了一种压力传感器，特别是一种在油井井下使用的耐高温微动压力或微流量传感器，由弹性元件[2]、主保护盖板[3]、次保护盖板[7]和SOI硅微固态压阻芯片[5]及连接螺钉[8]组成，弹性元件和主保护盖板、次保护盖板通过螺钉连接在一起，弹性元件设计为悬臂梁形式，装有SOI硅微固态压阻芯片的悬臂梁上部安装在保护盖板内，通过保护盖板并悬在保护盖板外部的悬臂梁的下部通入具有流体的管道内。本发明的硅微固态压阻芯片采用SOI技术制造，具有耐高温、测量精度高的效果；通过改变悬臂梁的长、宽和厚度，可解决井下微压力或微流量的测量问题，该传感器动态特性好、耐高温并具有测量精度高、性能稳定等特点，适宜在高温、高湿等恶劣环境下使用。