用于薄膜制备的加热控温装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于薄膜制备的加热控温装置及方法。加热控温装置包括加热控制电路和石墨加热体(1)。石墨加热体(1)为扁平立方体块状石墨，其横断面等距离分布着若干个有若干个通孔的陶瓷管(2)，每两个孔可穿绕一根电阻丝(3)。加热控温装置的方法是根据所要制备薄膜的大小选择适当的基体—石墨加热体(1)，按照要求固定好陶瓷管(2)，按照设计温度要求穿入电阻丝(3)；将电阻丝(3)并联后接入加热电路，使电阻丝(3)一端接低电压大电流供端的负极，电阻丝(3)的另一端通过负载电阻(4)以及继电器(6)的常闭端触点接低电压大电流供端的正极；电路工作就可达到测温、控温目的，可使基体上温度分布均匀，提高薄膜的质量。