公开/公告号CN1451169A
专利类型发明专利
公开/公告日2003-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备联合公司;
申请/专利号CN01809075.3
申请日2001-04-25
分类号H01J27/02;
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人过晓东
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2023-12-17 15:01:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-06-27
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2005-12-07
授权
授权
2003-12-31
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-10-22
公开
公开
机译: gelhkathodenroehre,其阴极仅在弯曲轮廓期间通过多个阴极部分之间的电子轰击而使用,其中至少一个用于制造阴极达到发射温度的阴极被加热,而外部的一部分不被焦耳热加热
机译: 用不直接加热的阴极固定离子源的阴极
机译: 用不直接加热的阴极固定离子源的阴极