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用于非直接加热阴极式离子源的阴极分装置

摘要

非直接加热阴极式离子源的阴极被至少一个杆或钉支撑。阴极优选为盘状,支撑杆的直径小于阴极盘的直径以减少热传导和热辐射。在一个实施例中,阴极被单个杆在盘中心或中心附近支撑。为简单和稳定地夹紧和分离,支撑杆被一个弹簧夹夹持。阴极盘和支撑杆可制造成一块。一发射热电子化电子的丝极在靠近阴极处安装在支撑杆周围。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-06-27

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2005-12-07

    授权

    授权

  • 2003-12-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-10-22

    公开

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