超解析光盘母膜、光盘原膜及其工艺

摘要

一种超解析光盘母膜，主要由一基板、一超解析结构以及一图案化的光阻层构成。其中，超解析结构配置于基板与图案化光阻层之间。本发明的光盘母膜在制作时先将超解析结构形成于基板上，然后才形成光阻层于超解析结构上。上述工艺不会有使光阻层预先曝光的问题。此外，上述工艺所制作出的光盘母膜不会有薄膜微粒造成表面粗糙的问题，而以光盘母膜所制作的光盘原膜也不会有表面粗糙的问题。