基于吸氢合金薄膜的电化学微驱动器及其制备方法

摘要

一种基于吸氢合金薄膜的电化学微驱动器及其制备方法，由贮氢合金薄膜与性质稳定的衬底薄膜构成双金属膜叠层结构，双金属膜结构电极的一部分固定附着在基座上，其余悬空，构成能够随着电极反应进程产生形态变化的复合驱动电极，驱动电极与辅助电极构成电极对，浸入电解液中，通过施加直流电压(流)而操控双金属膜电极实现微驱动。贮氢合金薄膜采用溅射或者电镀方法沉积在衬底薄膜表面，衬底薄膜采用溅射、电镀方法沉积，将两种薄膜按一定顺序沉积在特定基体上，然后采用牺牲层技术使局部微结构释放，形成复合微驱动电极。本发明驱动器驱动电压低，行程长，驱动力比较大，安静而且控制方便，还具有姿态保持能力。