法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-01-19
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/82 授权公告日:20041229 终止日期:20091208 申请日:20021108
专利权的终止
2004-12-29
授权
授权
2003-06-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-05-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-03-26
公开
公开
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