利用档片图案制造活动区以稳定黄光制程的方法

摘要

一种利用档片图案制造活动区以稳定黄光制程的方法，先提供一活动区基础图案层，再配合一档片图案附属扩散层，并利用逻辑操作将此档片图案附属扩散层与活动区基础图案层连结在一起，以将档片图案附属扩散层填补入活动区基础图案层的空旷区来增加活动区的图案密度，并得到一符合逻辑元件产品要求的图案层，使其可适用于不同逻辑元件的活动区图案密度，同时亦降低产品之间的密度差异。具有简化黄光制程并使制程较为稳定，及降低镜片热效应的功效。