监视服务器连接在网络上的通信监视系统

摘要

一种通信监视系统，包括：与网络(13)连接的半导体器件制造装置(12)，与所述网络连接的主计算机(11)，和与所述网络连接的监视单元(20)。半导体器件制造装置和主计算机通过网络执行关于半导体器件制造装置加工的通信序列。监视单元通过在半导体器件制造装置和主计算机之间的网络通信的第一通信序列的第一组数据分组和第二通信序列的第二组数据分组，并根据第一和第二组的数据分组判断在半导体器件制造装置和主计算机之间的通信是正常还是有错误。