干冰清洗方法和装置以及由干冰清洗的部件或装置

摘要

本发明的目的是对在使用环境中受到污染的机器和设备进行清洗来使其适合于回收再利用。为实现上述目的,通过将干冰和清洗剂同时作用于清洗目标物的清洗表面来对包括电子元件的装置或部件进行清洗。