微孔滤膜、制造微孔滤膜的方法和使用微孔滤膜的分离器

摘要

公开了一种滤膜、制造该滤膜的方法以及使用这种滤膜的仪器,其中该滤膜是整体式聚合物膜(20),其包含一具有微米级的精确形状的孔(24)的聚合物过滤层(22)和聚合物支持层(26),后者有用于支持过滤层的多孔的有精确形状的支持物。公开了几种使用显微机械加工技术制造这种膜的方法,包括光刻、激光切割和X－射线处理技术。公开了几种使用这种膜的仪器。