具有氧化锌辐射热测量元件的辐射热测量器

摘要

一种红外线辐射热测量器(200),包括一个氧化锌辐射热测量元件,以获得在高温处理中的稳定性和高灵敏度。该辐射热测量器包括一个有源阵列层(210)、一个支撑层(220)、一对接线柱(260)和一个吸收层(230)。该有源阵列层(210)包括一个具有集成电路的基片(212)、一对连接端(274)和一个覆盖该基片的保护层(216)。该支撑层(220)包括一对桥路(240),每一桥路(240)在其上部设有一导电线(255),其中该导电线(255)的一端电连接至相应的连接端(214)。该吸收层(230)包括一个周围环绕有吸收器(295)的氧化锌辐射热测量元件(285)。每一接线柱(260)包括周围环绕绝缘材料(264)的电导线管(262),并被设置在该吸收层和该桥路之间,在此方式下,该氧化锌辐射热测量元件(285)通过电导线管(262)、导电线(255)和连接端(214)而电连接至该集成电路。