新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法

摘要

本发明属于新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法。本发明由光源、透镜、信号处理、硅基片、样品窗口、光波导薄膜、棱镜和光波导衬底组成,本发明采用的制备方法将棱镜制备于光波导薄膜下表面,用棱镜－光波导结构取代光栅－光波导结构,提高了耦合效率和色散能力;造价低、应用范围大;杂散光干扰少,光谱分辨率高;本发明是一种小型化、集成化、便于携带和高灵敏度的光谱仪。