防止堆叠电容器的部件间相互作用的延伸沟槽

摘要

根据本发明的堆叠电容器包括设置于沟槽内的连接存取器件的导电栓塞。阻挡层形成于该栓塞上,并设置于沟槽内。介质层形成于沟槽之上,穿通电介层形成有孔,从而至少露出阻挡层的一部分。第一电极形成于孔内,从孔延伸出。电容器介质层形成于第一电极上,隔开第一电极与第二电极,所说介质层和第一电极基本上防止了阻挡层材料和电容器介质层材料及形成电容器介质层时所用的氧化环境间的化学作用。还涉及一种制造方法。