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改善了在碱性水溶液中剥离性能的可光成象组合物

摘要

一种可用作光致抗蚀剂的负片型可光成象组合物,该组合物包括酸官能粘合剂聚合物、可光成象组分和光引发剂化学体系,其中粘合剂聚合物具有多峰分子量分布,以促进光致抗蚀剂以较小的颗粒快速剥离。快的剥离时间和小的剥离颗粒的结合可使光致抗蚀剂以有利于环境的只含水的方法从电镀的电路板上剥离。

著录项

  • 公开/公告号CN1235282A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日1999-11-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 莫顿国际股份有限公司;

    申请/专利号CN99104155.0

  • 发明设计人 R·W·考茨;R·B·巴雷;

    申请日1999-03-18

  • 分类号G03F7/033;

  • 代理机构上海专利商标事务所;

  • 代理人林蕴和

  • 地址 美国伊利诺斯州

  • 入库时间 2023-12-17 13:29:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-12

    专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F7/032 授权公告日:20041215 申请日:19990318

    专利权的终止

  • 2009-06-24

    专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090515 申请日:19990318

    专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)

  • 2004-12-15

    授权

    授权

  • 1999-11-17

    公开

    公开

  • 1999-10-20

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

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