半导体处理器件仿真方法和存储仿真程序的存储介质

摘要

在这种半导体过程器件仿真方法中,一个系数矩阵是由排列在对应于每个网格点的任何一条主对角线上的一个主对角线子矩阵构成,该主对角线子矩阵具有对应于网格点数量的行数与列数,以及一个非对角线矩阵排列在通过对应于该网格点的主对角线位置并且表示对应于主对角线位置的网格点与一个通过生成的网格分支连接到该网格点邻近网格点之间相互影响的任何一个行与列上。对这些子矩阵执行计算,因此实现系数矩阵的不完全LU分解。