法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2001-02-07
专利申请的视为撤回
专利申请的视为撤回
1998-10-07
公开
公开
1998-09-16
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 含磷的硅氮烷组合物,含磷的硅质薄膜,含磷的硅质填料,生产含磷的硅质薄膜的方法以及半导体装置
机译: 含磷的硅氮烷组合物,含磷的硅质薄膜,含磷的硅质填料,生产含磷的硅质薄膜的方法以及半导体装置
机译: 含磷的硅氮烷组合物,含磷的硅质薄膜,含磷的硅质填料,生产含磷的硅质薄膜的方法以及半导体装置