法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2001-06-27
专利申请的视为撤回
专利申请的视为撤回
1995-07-19
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1993-12-29
公开
公开
机译: 除去液体和去除III-V元素氧化物的氧化物,处理液,用于处理III-V元素的化合物,防止氧化液,用于防止III-V元素的氧化,处理液体用于处理半导体衬底的方法,以及生产方法 半导体衬底产品
机译: 用处理液处理基板表面的液体处理装置,液体处理方法以及检测处理液的变动的液体状态检测装置
机译: 用处理液处理基板表面的液体处理装置,液体处理方法以及检测处理液的变动的液体状态检测装置