确定混合气中各气体浓度的方法和测量导热率的传感器

摘要

本发明介绍一种通过测量混合气的导热率确定其各种气体浓度的方法。在(N-1)种气体温度下测量含N种气体成分的混合气导热率。根据所获得的导热率测量值，可计算出各种气体的浓度。适用于在各种气体温度下测量导热率的传感器由一块带有在其上面经腐蚀而成的薄膜电阻的硅底板所构成，在底板上盖有一块盖板。在两块板上薄膜电阻的上下，有经腐蚀而成的构成测量室的穴。欲进行测定的混合气，通过一个扩散通道和一些孔口进入测量室。