一种除去沉积在化学气相沉积反应器反应室内的不须要的碳产物的方法

摘要

沉积碳膜后清理化学气相反应器内部。当结晶的碳或象金刚石的碳在反应室内形成时，在反应室内有不需要的沉积物。利用氧气或氧化合物气体而不是利用对反应器内部有损坏作用的氟或氟化合物气体，通过侵蚀，将粘性的碳沉积除去。