基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读取记录介质

摘要

涂布显影装置具备：第一激光单元，其对涂布液照射激光光，并基于该激光光的变化来获取涂布液的状态；以及可否照射决定机构，其基于流路中的、比从第一激光单元向涂布液照射激光光的部位更靠液瓶一侧的涂布液，来决定第一激光单元可否照射向涂布液的激光光，其中，可否照射决定机构具有获取涂布液的颜色信息的第二激光单元和控制器，其中，控制器构成为执行以下处理：判定涂布液的颜色信息是否为容易吸收通过第一激光单元照射的光的波长的规定的颜色信息；以及基于判定结果来决定可否照射向涂布液的激光光。