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确定芯片电性特征的方法、设备和计算机可读存储介质

摘要

本公开的实施例涉及确定芯片的电性特征的方法、设备和计算机可读存储介质。该方法包括:确定所述芯片中的电路元件的规格;基于所述电路元件的规格确定第一关系,所述第一关系是所述电路元件的电性特征与用于制造所述芯片的工艺参数之间的关系;以及基于所述第一关系确定第二关系,所述第二关系是所述芯片的电性特征与所述工艺参数之间的关系。以这种方式,如果工艺参数发生改变,可以根据更新的工艺参数来预测芯片的电性特征。

著录项

  • 公开/公告号CN111579961A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-08-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 全芯智造技术有限公司;

    申请/专利号CN202010357587.7

  • 发明设计人 不公告发明人;

    申请日2020-04-29

  • 分类号G01R31/28(20060101);G01R31/26(20140101);H01L21/66(20060101);

  • 代理机构11256 北京市金杜律师事务所;

  • 代理人李兴斌

  • 地址 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期J2C栋13楼

  • 入库时间 2023-12-17 11:45:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-25

    公开

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