公开/公告号CN111180310A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-19
原文格式PDF
申请/专利权人 广东聚华印刷显示技术有限公司;
申请/专利号CN201910182297.0
发明设计人 柯秋坛;
申请日2019-03-11
分类号
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人向薇
地址 510000 广东省广州市广州中新广州知识城凤凰三路17号自编五栋388
入库时间 2023-12-17 11:45:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20190311
实质审查的生效
2020-05-19
公开
公开
机译： 用于金属氧化物薄膜的组合物和生产图案化的金属氧化物薄膜的方法
机译： 金属氧化物薄膜的组合物和制造图案化金属氧化物薄膜的方法
机译： 沉积金属和金属氧化物薄膜及图案化薄膜的方法
