公开/公告号CN111540810A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州晶洲装备科技有限公司;
申请/专利号CN202010387549.6
申请日2020-05-09
分类号H01L31/18(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构32276 苏州根号专利代理事务所(普通合伙);
代理人朱华庆
地址 215500 江苏省苏州市常熟辛庄镇光伏产业园光华环路32号
入库时间 2023-12-17 11:36:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-14
公开
公开
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