集尘装置及集尘装置中过滤器的破损检测方法

摘要

本发明提供一种集尘装置(1)，该集尘装置(1)包括：含尘空气室(12)，被鼓风机(23)吸引的含尘空气被导入到该含尘空气室(12)；过滤器(15)，该过滤器(15)使所述含尘空气通过并从所述含尘空气中分离粉尘；洁净空气室(21)，该洁净空气室(21)通过该过滤器(15)而与所述含尘空气室(12)相隔离，由所述过滤器(15)过滤后的洁净空气被导入到该洁净空气室(21)；以及脉冲喷气式除尘机构(25)，该脉冲喷气式除尘机构(25)每隔规定的时间间隔除去附着于所述过滤器的粉尘，该集尘装置(1)包括：配置在所述洁净空气室(21)侧，若检测到粉尘则发送粉尘检测信号的粉尘检测传感器(31)；以及在与所述规定的时间间隔不同的定时接收到所述粉尘检测信号时，判定为检测到所述过滤器(15)的破损的判定处理部(33)。