公开/公告号CN111433559A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-17
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201880078008.6
申请日2018-09-24
分类号G01B11/27(20060101);G01N21/47(20060101);G01N21/956(20060101);G03F7/20(20060101);H01L23/544(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘丽楠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 11:24:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-17
公开
公开
机译: 增强计量目标信息内容
机译: 加强计量目标信息内容
机译: 增强计量学目标信息含量