一种基于多元薄膜热电变换器的高精度电压表

摘要

本发明公开了一种基于多元薄膜热电变换器的高精度电压表的系统构成及工作机理，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于高精度电压表由多元薄膜热电变换器(1)、滤波电路1(2)和2(3)、线性化电路1(4)和2(5)、差分放大电路(6)、PI校正电路(7)、直流电压表(8)组成。多元薄膜热电变换器(1)由材料和结构相同的加热电阻1(9)、2(10)和热电堆1(11)、2(12)组成。当有交流信号输入到加热电阻1(9)上时，形成温差电动势，通过闭环反馈电路改变加载在加热电阻2(10)上的反馈电压，直到差分放大电路(6)输出信号为0，此时直流电压表测量的反馈信号就是输入交流信号的有效值。这种高精度电压表采用热电变换的方法测量交流信号，适合测量各种波形交流电压信号，并具有很高的准确度和工作频率范围。