公开/公告号CN111521089A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-11
原文格式PDF
申请/专利权人 博泰智能装备(广东)有限公司;
申请/专利号CN202010528343.0
申请日2020-06-11
分类号G01B5/00(20060101);
代理机构44490 佛山卓就专利代理事务所(普通合伙);
代理人陈雪梅
地址 523000 广东省东莞市长安镇长安德政中路56号11栋
入库时间 2023-12-17 11:15:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-11
公开
公开
机译: 一种具有绝缘环的沟槽电容器的制造方法,该沟槽电容器的一侧通过埋入式触点电连接到衬底,特别是用于半导体存储单元和相应的沟槽电容器
机译: 一种具有绝缘环的沟槽电容器的制造方法,该沟槽电容器的一侧通过埋入式触点电连接到衬底,特别是用于半导体存储单元和相应的沟槽电容器
机译: 一种具有绝缘套环的沟槽电容器的制造方法,该绝缘套环的一侧通过电连接到基板的埋入式触点,特别是用于半导体存储单元,该绝缘电容器对应于沟槽电容器