提高半导体测试系统产能的方法及半导体测试系统

摘要

本发明公开了一种提高半导体测试系统产能的方法及半导体测试系统，其将主控平台分别与探针台与机械手设备和多个自动测试设备建立通讯连接，获取所述自动测试设备的通讯状态，并检测所述探针台与机械手设备的状态信息。本发明通过所述自动测试设备进行用户信息传送和测试程序载入，根据探针台与机械手设备的状态信息，得到测试开始信号后通过各自动测试设备进行测试，并将测试结果返回至所述主控平台。本发明根据测试结果产生整合信号至所述探针台与机械手设备，完成一次循环测试，在测试全部结束信号后，发送批次结束信号至所述自动测试设备，完成测试。本发明能够采用多台自动测试设备与一台探针台与机械手设备配合使用，提高设备利用率。