一种测试灵敏方向可调的GMR磁场传感器及制备方法

摘要

一种测试灵敏方向可调的GMR磁场传感器及制备方法，包括第一导电材料、第二导电材料、第三导电材料、基底和磁阻条；四个第一导电材料成四宫格状分布在基底表面；若干磁阻条平行等间距设置，相邻的两个磁阻条之间的端部通过第二导电材料连接，使若干磁阻条形成S型串联结构；相邻的第一导电材料之间均设置有S型串联结构，形成惠斯通电桥，S型串联结构端部的磁阻条与第一导电材料连接。本发明通过磁电耦合效应实现了一种灵敏方向可调的新型GMR磁场传感器，利用在压电基底上施加不同的电压改变自由层的磁化方向，最大可以实现探测方向90°调控。保证了在更多工程场景下的应用，可以提高传感器的性能表现，提高传感器的工作效率和应用范围。