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一种基于半导体纳米线/石墨烯的近红外自驱动光电探测器的构筑方法

摘要

本发明涉及一种基于半导体纳米线/石墨烯的近红外自驱动光电探测器的构筑方法,通过设计几何不对称的半导体纳米线/石墨烯复合结构、利用衬底Ge对石墨烯的掺杂效应,并控制器件退火温度和时间以进行界面优化,该类器件具备显著增强的自驱动特性和光响应灵敏度。该方法成功构筑了对近红外光响应理想的基于半导体纳米线/石墨烯的自驱动光电探测器。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20200423

    实质审查的生效

  • 2020-07-24

    公开

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