高亮度LPP源和用于产生辐射并减少碎屑的方法

摘要

一种用于产生短波长辐射的高亮度LPP源和方法，所述LPP源包括：真空腔室(1)，其具有用于让激光束(7)聚焦到相互作用区域(5)中的输入窗口(6)，用于让短波长辐射束(9)出射的输出窗口(8)；旋转靶标组件(3)，其具有环形凹槽(11)；靶标(4)，其是通过离心力形成在环形凹槽(11)的远侧壁(13)的表面上的熔融金属层，环形凹槽的近侧壁(14)被设计为提供在所述相互作用区域与输入窗口、输出窗口之间的视线，尤其是在激光脉冲期间。一种减少碎屑颗粒的方法，包括使用足够高的靶轨道速度，使离开所述旋转靶标组件的碎屑颗粒的液滴部分不被导向输入窗口和输出窗口。