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公开/公告号CN111427242A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-17
原文格式PDF
申请/专利权人 上海集成电路研发中心有限公司;
申请/专利号CN202010425461.9
发明设计人 许博闻;李琛;时雪龙;燕燕;李立人;
申请日2020-05-19
分类号G03F7/20(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人吴世华;马盼
地址 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号
入库时间 2023-12-17 10:50:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20200519
实质审查的生效
2020-07-17
公开
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