一种大口径工作台移相干涉透过波前测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种大口径工作台移相干涉透过波前测量装置及方法，属于精密光学检测领域。本装置通过单个压电陶瓷以小推力驱动低摩擦重载工作台沿直线导轨运动，进而带动固定在工作台上的大口径光学元件完成移相；通过三个位移传感器实时、高动态地监测工作台的俯仰和偏摆，进而推算出光学元件的平移和倾斜移相误差，并将其带入消倾斜移相算法，最终从移相干涉图中精确提取出待测透过波前结果。本装置及方法不仅机械结构简单、成本低，而且测量精度不受1)元件口径和重量，2)工作台俯仰和偏摆等运动误差，3)波长调谐所导致的色差和4)干涉腔长度等因素的影响。本装置及方法为大口径移相干涉测量提供了一条高精度、低成本的简便可行途径。