一种柔性主动式微混合器件集成系统及制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性主动式微混合器件集成系统及制备方法，其中柔性主动式微混合器件包括微流道腔体、保护层、微型加热器和微型温度传感器、磁性体和柔性基底，保护层覆在柔性基底上，微型加热器和微型温度传感器、磁性体集成于柔性基底，微流道腔体与保护层、微型加热器和微型温度传感器、磁性体和柔性基底组合成的柔性衬底键合在一起；微流道腔体的内部流道中混入流体，在磁场激励下，磁性体产生周期性的高频率微振动而带动柔性衬底周期性运动，从而将流体混合，本发明能够适用于单相流混合和多相流混合及其反应等，具有混合效率高，无污染的优点，其易于与其他柔性器件集成，力学性能好，混合效果好。