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带电粒子线装置以及使用其的观察方法、元素分析方法

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简便地实现能够进行二次带电粒子的能量辨别的带电粒子线装置。带电粒子线装置，具有：带电粒子源(2)；载置样品(15)的样品台(14)；向样品(15)照射来自带电粒子源(2)的带电粒子线(5)的物镜(13)；使向样品(15)照射带电粒子线(5)而放出的二次带电粒子(16)偏转的偏转器(17)；检测由偏转器(17)偏转的二次带电粒子的检测器(18)；对样品(15)或者样品台(14)施加正电压(V3)的样品电压控制部(19)；以及控制偏转器(17)使二次带电粒子(16)偏转的强度的偏转强度控制部(20)。

著录项

公开/公告号CN111033675A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-17

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社日立高新技术;
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申请/专利号CN201780094064.4
发明设计人伊藤直人;山泽雄;
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申请日2017-08-24
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人柯瑞京
地址日本东京都
入库时间 2023-12-17 10:29:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-12

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/05 申请日:20170824

实质审查的生效
2020-04-17

公开

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1. 带电粒子线装置以及使用其的观察方法、元素分析方法 [P] . 中国专利： CN111033675A . 2020-04-17
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