一种具有高承载能力的超高精度五维运动调节装置

摘要

本发明公开了一种具有高承载能力的超高精度五维运动调节装置，涉及精密调节技术领域。本发明包括基于X向的前后平移机构、基于Y向的左右平移机构、基于θZ向的旋转机构、基于θX向或θY向的摆动机构、基于Z向的升降机构、整体行走机构；第一高精度滚珠丝杆副作传动机构、第二高精度滚珠丝杆副作传动机构、第一高精度涡轮蜗杆机构、第二高精度涡轮蜗杆机构、坦克车分别经电脑发指令实现轴运动、定位、反馈的功能控制。本发明填补了大型负载机构超高精度运动调节装置的空白，相较于目前市面上的um量级高精度五维运动调节装置，本装置的负载能力远远胜出，微调精度达到um量级，可以胜任大型装置精密测量的承载和微调工作。