用于电子衍射分析的改进系统

摘要

公开一种处理在电子显微镜中获得的衍射图案图像的方法和系统。方法包括：根据第一组显微镜条件使电子束入射到校准样品上以从其上发射所得到的电子并使用检测器装置监测所得到的电子以获得包括具有值的多个像素的校准图像，第一组显微镜条件配置成使校准图像基本上不包括电子衍射图案；从校准图像中获得包括多个像素的增益变化图像，每个像素具有表示对于校准图像的对应像素而言的相对检测器装置增益的值；根据第二组显微镜条件，使电子束入射到目标样品上以从其上发射所得到的电子并使用检测器装置监测所得到的电子以获得包括具有值的多个像素的目标图像，第二组显微镜条件配置成使得目标图像包括电子衍射图案；以及针对目标图像的每个像素，根据增益变化图像的对应像素的值从像素值中去除对相对检测器装置增益的像素值的贡献以获得增益变化校正图像。