电池注液用应变式称重传感器CrSiN/Cr纳米多层耐蚀涂层制备方法

摘要

本发明公开了一种电池注液用应变式称重传感器CrSiN/Cr纳米多层耐蚀涂层制备方法，属于金属材料的表面工程技术领域。该制备技术主要包括预处理、氩离子刻蚀清洗、沉积Cr过渡层、沉积CrSiN/Cr纳米多层耐蚀涂层、冷却步骤。其中Cr过渡层厚度为10～100nm，CrSiN/Cr纳米多层耐蚀涂层的单层CrSiN层和Cr层厚度分别为2～20nm和1～5nm，CrSiN/Cr纳米多层耐蚀涂层总厚度为1～10m；Cr过渡层和CrSiN/Cr纳米多层耐蚀涂层的沉积采用等离子体增强磁控溅射技术，通过加热到高温的灯丝发射大量热电子显著提高磁控溅射的等离子体密度，改善耐蚀涂层的致密性和耐腐蚀性能。该涂层显著改善了电池注液用应变式称重传感器的耐腐蚀性能和使用寿命，其使用寿命可达7个月以上。