一种干式真空泵内部流场测量系统及测量方法

摘要

本发明涉及真空泵测试领域，具体地说是一种干式真空泵内部流场测量系统及测量方法，包括示踪粒子发生组件、透明干式真空泵、脉冲激光器、片光源、CCD相机和同步控制器，其中脉冲激光器发出的脉冲激光经片光源后射入透明干式真空泵的泵腔内，CCD相机设于透明干式真空泵一侧且镜头方向与所述片光源的照射方向垂直，所述脉冲激光器和CCD相机通过所述同步控制器控制。本发明利用示踪粒子、脉冲激光器和CCD相机获得透明干式真空泵在正常抽气过程中泵腔流场内的气体流动特性，并且还可以模拟多级泵抽气过程中某一级泵腔的抽气情况，从而完成多级泵抽气过程中单级泵腔的流场测量。