基于偏振分离成像法的晶粒双面同时完全等光程共焦成像检测的装置与方法

摘要

本发明公开一种基于偏振分离成像法的半导体晶粒双面同时完全等光程共焦成像检测的装置及方法，该装置包括在光路方向上依次设置CMOS或CCD偏振相机、远心成像镜头、偏振立方分束器、直角转像棱镜、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明玻璃载物台，本发明装置及方法的优点：可实现待测物体相邻双面同时完全等光程共焦偏振成像检测，即△=0，无需使用大景深远心镜头来补偿双面成像的光程差；相邻双面同时偏振成像检测装置结构简单紧凑且装配调试容易。