碘化铝用作离子源材料时的共伴氢气

摘要

本发明提供一种离子注入系统，其离子源配置成由碘化铝形成离子束。束线总成选择性将离子束输送到终端站，该终端站配置成接受离子束以将铝离子注入到工件中。电弧腔室由碘化铝形成等离子体，其中来自电源部的电弧电流配置成从碘化铝中离解出铝离子。一个或多个引出电极从电弧腔室中引出离子束。共伴氢气源进一步引入共伴氢气以使残余碘化铝与碘化物发生反应，其中从所述系统中排空反应后的残余碘化铝和碘化物。