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像素BANK制备方法、像素BANK结构、像素结构和显示面板

摘要

本申请涉及一种像素BANK制备方法、像素BANK结构、像素结构和显示面板;所述方法提供衬底基板,衬底基板上制作有阳极薄膜层;在衬底基板上涂覆用于覆盖阳极薄膜层的光阻层;通过曝光图形结构对光阻层进行光刻,并对光刻后剩余的光阻层进行烘烤固化,形成第一BANK层;曝光图形结构为全透孔、第一半透孔、不透孔和第二半透孔依次重复排列的结构;在第一BANK层上形成第二BANK层;第二BANK层为黑色BANK层。由于第一BANK层的中间部分厚度厚,抬高了第二BANK层的高度,在利用第二BANK层的黑色挡光特性,降低像素漏光的风险,进一步的,由于本申请像素BANK制备方法省略传统BANK设备过程中的Ashing工艺,降低了生产制造成本,节省了生产制造时间。

著录项

  • 公开/公告号CN111293151A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-06-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202010105858.X

  • 发明设计人 吴小玲;

    申请日2020-02-20

  • 分类号H01L27/32(20060101);H01L51/56(20060101);H01L51/52(20060101);

  • 代理机构44570 深圳紫藤知识产权代理有限公司;

  • 代理人刁文魁

  • 地址 518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

  • 入库时间 2023-12-17 09:59:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/32 申请日:20200220

    实质审查的生效

  • 2020-06-16

    公开

    公开

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