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一种具有零场冷却交换偏置效应的Co/CoO纳米复合薄膜及其制备方法及应用

摘要

本发明属于磁性材料技术领域技术领域,提供了一种具有零场冷却交换偏置效应的Co/CoO纳米复合薄膜及其制备方法及应用。本发明的具有零场冷却交换偏置效应的Co/CoO纳米复合薄膜,包括由下而上叠加的衬底、Co/CoO纳米颗粒复合膜和保护层,所述Co/CoO纳米颗粒复合膜的颗粒尺寸为3~8nm,所述Co/CoO纳米颗粒复合膜的厚度为3.6~270nm。本发明的具有零场冷却交换偏置效应的Co/CoO纳米复合薄膜,采用直流磁控溅射技术制成,通过对氧分压及薄膜厚度的控制,得到具有Co/CoO复合纳米颗粒结构的薄膜。

著录项

  • 公开/公告号CN110993785A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 扬州旭磁智能科技有限公司;

    申请/专利号CN201911302324.X

  • 申请日2019-12-17

  • 分类号

  • 代理机构北京轻创知识产权代理有限公司;

  • 代理人王佳妹

  • 地址 225000 江苏省扬州市邗江区环保科技创业园创业路8号

  • 入库时间 2023-12-17 09:46:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L43/10 申请日:20191217

    实质审查的生效

  • 2020-04-10

    公开

    公开

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