EUV防尘薄膜张紧的诱导应力

摘要

一种保护光掩模(210)的方法(100)。该方法包括：提供(110)光掩模(210)，提供(120)边框(220)，在边框(220)上沉积(130)至少两个电触头(230)，将包含碳纳米管的膜(240)安装(140)在边框(220)上，以使所述膜(240)包含自立部分，其中在安装(140)和沉积(130)步骤之后，电触头(230)与膜(240)接触，通过偏置至少一对电触头(230)，诱导(150)电流通过膜(240)的自立部分，从而获得通过膜(240)的自立部分的电流，将边框(220)安装(170)在光掩模(210)的至少一侧上，使膜的自立部分在光掩模(210)上方。