公开/公告号CN111121404A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 TCL华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201911309934.2
发明设计人 刘小成;
申请日2019-12-18
分类号F26B9/06(20060101);F26B21/00(20060101);F26B23/04(20060101);F26B25/00(20060101);B29C35/08(20060101);
代理机构44570 深圳紫藤知识产权代理有限公司;
代理人吕姝娟
地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
入库时间 2023-12-17 09:46:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-02
实质审查的生效 IPC(主分类):F26B9/06 申请日:20191218
实质审查的生效
2020-05-08
公开
公开
机译: TFT-LCD制造工艺的多层烘烤炉中紫外线照度的检查方法及执行该方法的拾音器组装装置
机译: TFT-LCD制造过程的多层烘烤炉中的紫外线照度检查方法和执行该方法的拾取组件
机译: 用于制造半导体器件的紫外线烘烤装置