法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G03B21/16 申请日:20200317
实质审查的生效
2020-06-05
公开
公开
机译: 用于光学对象检查设备的光学设备具有成像设备,该成像设备具有提供像散图像的反射镜和用于减少成像误差的枢转光学组件。
机译: 在微光刻投影曝光设备中校正像散的方法,这种投影曝光设备的投影物镜以及用于微图案化部件的制造方法
机译: 具有改进的检测和显示功能的投影辐射成像设备,一种制造辐射成像设备的方法以及一种辐射成像面板